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塑封前處理

去除材料表?污染物，使芯?表?與塑封材料結(jié)合牢固，減少分層與?泡等不良的產(chǎn)?。

光刻膠去除

去除殘留的光刻膠及其他有機物，活化和粗化 晶圓表?，提?晶圓表?潤濕性能。

?屬鍵合前處理

去除?屬焊盤上的有機污染物，提?焊接?藝的強度和可靠性。